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半导体行业vocs废气处理案例分享

发布时间:2022-08-24}人气:237

半导体行业vocs废气处理案例分享

  • 基本情况:

珠海市XXX电子科技有限公司成立于2011年,位于广东省珠海市斗门区XXXXXX,厂区内拥有5栋厂房、2栋宿舍及其他配套设施,总建筑面积约36000平方米,约有员工1000人。

公司内现有27个车间,主要生产灯饰行业单面PCB板,主要生产设备为蚀刻线、丝印机、烤箱、抗氧化机、切板机、洗板机、冲床、磨板机、V坑机、锣机、打孔机等。

  • 企业有机废气概况:

 半导体行业废气处理

  • 企业生产工况

工作制度为:年工作日约300天,2班/日,约8小时/班,年工作时间约4800小时。

根据厂方提供资料结合企业实际生产需要,本项目共设计2套有机废气治理设施,总设计风量为310000m3/h设计目标符合广东地方标准印刷行业挥发性有机物排放标准 DB 44/815-2010排放120mg/m3 ,采用丝印区域密闭全面换风,换气次数20次/H,并对重点部位局部(丝印机、烤箱开关处,隧道炉)集气罩抽风。

预计该项目处理前总VOCs浓度35.68 mg/m3设计收集率大于

90%,处理效率大于90%;处理后总VOCs浓度3.57mg/m3

废气治理

【工艺说明】            

经实际测试,2级喷淋吸收复合塔吸收净化效率可达85%以上,为防止喷淋吸收设备故障及保证废气净化持续稳定,末端增加活性炭吸附箱。

【二次污染】

该项目月产生喷淋吸收废水约100吨,业主自有污水处理站系统,污水处理站设计处理能力4000吨/天,污水处理站有富余处理喷淋吸收废水能力,喷淋吸收废气里含有大量VOCs及表面活性物质等碳源,大大提高了污水处理站的生化效果,不用再增加葡萄糖等营养液来维持生化系统。

本项目选择溶剂喷淋吸收法+溶剂喷淋吸收法+活性炭吸附法在净化效率可以达到排放标准及处理效率要求,相对于喷淋水洗+沸石转轮+RTO投资成本可降低80%,运行费用可降低60%,同时吸收法具有较高的安全性。

【环境效益】

本项目采用吸收法处理,将VOCs由气相转为液相,再由污水处理厂生化系统处理,最终变成污泥、交由第三方危险废物公司处理;相对于采用喷淋水洗+沸石转轮+RTO技术而言,大大减少了焚烧所产生的二氧化碳及氮氧化物。

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